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當前位置:首頁產品中心物理教學儀器工程光學實驗TPY-2型自動橢圓偏振測厚儀

自動橢圓偏振測厚儀
產品簡介:

產品特點:儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器,功率穩定波長精度高。儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件功能齊全,具有多樣數據采集及處理方式,適用于不同用戶的需要。

產品型號:TPY-2型

更新時間:2025-04-29

廠商性質:生產廠家

訪 問 量 :4510

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產品介紹

產品詳細資料


  • 儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器,功率穩定波長精度高。

  • 儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件功能齊全,具有多樣數據采集及處理方式,適用于不同用戶的需要。


測量范圍薄膜厚度范圍:1nm-300nm;折射率范圍:1-10偏振器方位角范圍0°-180°讀取分辨率為0.05°
入射光波長632.8nm偏振器步進角0.014°/步
入射角調節范圍20°- 90°精度≤0.05°測量膜厚±0.5nm
光學中心高80mm折射率重復性精度±0.05
測量厚度zui小示值≤1nm儀器測量精度±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm時)
允許樣品尺寸φ10-φ140mm,厚度≤15mm外形尺寸580×390×320(mm)
度盤刻度每格1度主機重量28kg



TPY-2實驗主機、電控系統、USB接口、二氧化硅膜樣片、配套軟件

* 計算機及打印機(需另配)



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